RTP DLI-CVD
Cuptoarele pentru tratament termic rapidă (RTP) de la Annealsys sunt adecvate pentru diferite aplicații datorită domeniului extins de temperatură și de vid.
AS-One este un sistem RTP flexibil care poate fi utilizat pentru procese termice rapide de depunere și procese termice CVD.
Sistemele DLI au capacitate de încălzire de până la 800 °C. Pot fi utilizate pentru depunerea oxizilor, inclusiv a straturilor epitaxiale.