RTP RTCVD

AS-Micro este un sistem rapid de tratament termic, cu capacitate de vid, proiectat pentru aplicații de cercetare. Permite prelucrarea de substraturi de ordinul milimetrilor, până la substraturi cu un diametru de trei inchi. Opțional, sunt disponibili susceptori pentru probele mici și pentru prelucrarea de substraturi cu absorbție în infraroșu.

Datorită camerei cu tub de cuarț cu flanșe de inox și tuburilor de halogen în infraroșu, se poate lucra la temperaturi de până la 1250 °C, cu rampe de temperatură foarte rapide (>250 °C/s). Controlul temperaturii se realizează cu ajutorul unui controler digital.

• Reproductibilitate ridicată a proceselor
• Efect de memorie scăzut (camera de proces rămâne la aceeași temperatură)
• Rata de răcire mai mare
• Mediu ultra curat și fără contaminare
• Fără contaminare metalică și fără încrucișare
• Măsurarea precisă a temperaturii pirometrului (fără semnal de la lămpi)
• Control al temperaturii la temperaturi joase (până la 150 ° C sau mai puțin)
• Regulator digital rapid de temperatură PID
• Cuptor cu lampă încrucișată cu mai multe zone (AS-Premium și AS-Master)
• Capacitatea de amestecare a gazelor
• Distribuție uniformă a gazelor pe eșantion
• Capacitate de atmosferă și vid standard, opțiune pompă turbo
• Volum minim, suprafață redusă pentru performanțe ridicate în vid
• Curățare ușoară a camerei
• Funcție opțională de răcire rapidă

• Dimensiuni substrat: până la 3 inchi în diametru sau  3”x3”
• Camera: tub de cuarț cu flanșe de inox răcite cu apă; opțional, versiune cu cameră dublă pentru evitarea contaminării
• Domeniul de temperatură: de la temperatura ambiantă până la 1250 °C
• Controlul temperaturii: termocuplu și pirometru, controler digital PID/RTP
• Vid și gaz: până la 5 circuite de gaz, cu debitmetre masice, 1 linie de purjare, valvă și indicator de vid
• Control complet de la PC cu software compatibil Windows