AS-One este un sistem RTP versatil care poate fi utilizat pentru dezvoltarea proceselor termice rapide
de depunere și a proceselor termice CVD termice.
- Rapid thermal annealing (RTA)
- Implant annealing
- Ohmic contact annealing (III-V and SiC)
- Rapid Thermal Oxidation (RTO)
- Rapid Thermal Nitridation (RTN)
- Selenization (CIGS solar cells)
- RTCVD of graphene and hBN